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精密测量技术

用于半导体表征、可靠性测试和先进电学测量的高性能仪器和集成技术。

高压放大器

适用于容性负载、压电器件、电力电子和先进研究应用的高压、高速放大解决方案。

应用领域:

✓ 电流体打印

高分辨率、多介质增材微纳制造。

✓ 微机电系统

微型传感器、致动器的静电驱动与测试。

✓ 压电陶瓷驱动

纳米级定位阶段、微位移机构的快速高精控制。

✓ 静电控制与偏转

质谱分析、带电粒子束聚焦与偏转系统。

✓ 半导体设备

晶圆静电吸盘(ESC)、电子束曝光及检测系统。

✓ 光电子系统

电光调制器、空间光调制器及液晶器件的高速驱动。

✓ 科研与微纳制造平台

高校、科研院所的高精密物理、化学及材料学实验平台。

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源测量单元

用于 IV 特性分析、漏电流分析和半导体器件测试的精密测量和测量。

应用领域:

✓ 先进材料研究

新型半导体、二维材料及功能薄膜的精密电学表征。

✓ MEMS 与传感器

微机电器件、智能传感器的电性能测试与参数分析。

✓ 光电子器件

光电探测器、LED 及光伏器件的精密电学测试。

✓ 低电平测量

pA/fA 级超低电流、高电阻及绝缘性能测量。

✓ 自动化测试系统

晶圆级参数测试、器件筛选及自动化数据采集。

✓ 科研与教育

高校、科研院所及企业研发中心的精密测量平台。

低电平测试

适用于高要求科学和工业应用的超低电流和高电阻测量技术。

应用领域:

✓ 超低电流测量

pA/fA 级超低电流、漏电流及微弱电荷信号的高灵敏度测量。

✓ 高电阻与绝缘测试

绝缘材料、介电材料及高阻器件的精密电阻与绝缘性能分析。

✓ 材料电学研究

功能材料、介电薄膜及新型电子材料的电学特性表征。

✓ 光电子与探测器

光电探测器、PMT、APD 等器件的低电流特性测试。

✓ 电荷与静电测量

微弱电荷、静电积累及电荷传输过程的精密分析。

✓ 科研与计量实验室

高校、科研院所及计量实验室的高精度低电平测量平台。

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通用测试仪器

示波器、信号发生器、电源和配套仪器,用于完整的测量系统。

应用领域:

✓ 信号分析与波形验证

电压、电流及高速信号波形分析,支持电子系统性能验证与故障诊断。

✓ 高速数字与模拟测试

高速接口、模拟电路及电子模块的时序分析与信号完整性评估。

✓ 测试系统集成

与SMU、高压放大器及自动化软件结合,构建完整测试平台。

✓ 电源与功率电子测试

电源模块、功率器件及电子系统的动态性能与稳定性分析。

✓ 研发与工程调试

支持产品开发、样机验证及工程现场测试需求。

✓ 科研与教育

服务高校、科研院所及企业研发实验室的电子测量需求。