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用于半导体表征、可靠性测试和先进电学测量的高性能仪器和集成技术。
高压放大器
适用于容性负载、压电器件、电力电子和先进研究应用的高压、高速放大解决方案。
应用领域:
高分辨率、多介质增材微纳制造。
微型传感器、致动器的静电驱动与测试。
纳米级定位阶段、微位移机构的快速高精控制。
质谱分析、带电粒子束聚焦与偏转系统。
晶圆静电吸盘(ESC)、电子束曝光及检测系统。
电光调制器、空间光调制器及液晶器件的高速驱动。
高校、科研院所的高精密物理、化学及材料学实验平台。
低电平测试
适用于高要求科学和工业应用的超低电流和高电阻测量技术。
应用领域:
pA/fA 级超低电流、漏电流及微弱电荷信号的高灵敏度测量。
绝缘材料、介电材料及高阻器件的精密电阻与绝缘性能分析。
功能材料、介电薄膜及新型电子材料的电学特性表征。
光电探测器、PMT、APD 等器件的低电流特性测试。
微弱电荷、静电积累及电荷传输过程的精密分析。
高校、科研院所及计量实验室的高精度低电平测量平台。