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可靠性与电应力测试

通过受控电应力，了解半导体器件在长期工作条件下的变化与退化。

精密IV/CV特性分析
可靠性与电应力测试
高压与动态测量
先进测量与传感

可靠性测试能告诉您什么?

可靠性测试揭示了器件如何应对压力以及其参数随时间的变化。
稳定性
该设备在工作条件下是否保持其电气特性?Vth,RDS,gm,漏电流，击穿，电容
退化
器件参数在长期应力后如何变化？Vth漂移，RDS增加，漏电流增加，gm退化
失效
在什么条件下器件会表现异常或故障?栅氧化层击穿，漏电流过量，电介质失效，热失控

从测量到器件参数

精密IV/CV测量可提取关键器件参数，用于设计、优化、比较和可靠性评估。

应力 • 测量 • 分析

系统化的方法对于获得可靠的结果至关重要。

应力
电压电流温度时间/次数
测量
IV/CV漏电流VthRDS
分析
漂移退化失效疲劳

可靠性表征需要在应力前、期间和之后测量器件。

电应力条件

可靠性表征中常用的电气应力方法。

栅极偏置应力
对栅极施加恒定或脉冲偏置•Vth漂移•栅极漏电流•氧化层退化
漏极偏置应力
对漏极施加高压偏置•漏电流增加•击穿行为•参数漂移
高压应力
在高阻断电压下对器件施加应力•阻断稳定性•漏电流增加•击穿退化
温度应力
在高温下对器件施加应力•温度依赖性•参数漂移•热降解

测量变化，而不仅仅是器件

比较应力前后的参数以评估退化情况。

初始参数特性
电应力
应力后参数特性
比较分析

当可靠性测试变得复杂时

许多因素会影响应力结果，使解释变得困难。

应力精度
漏电流测量
器件自热
瞬态效应
参数漂移
重复性